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        產(chǎn)品目錄Products

        技術(shù)文章Article 首 頁 > 技術(shù)文章 > 加熱式電容膜片真空計EdgeTM CDG100D2
        加熱式電容膜片真空計EdgeTM CDG100D2
        點擊次數(shù):161 更新時間:2024-11-19
         


        加熱式電容膜片真空計EdgeTM CDG100D2

         

         

         

        INFICON  Edge電容膜片真空計是專為惡劣制造環(huán)境設(shè)計

        的高精度真空測量儀器。成熟的控溫、防腐蝕、超純陶瓷

        傳感器能長期提供出眾的量程穩(wěn)定性,而且具有

        的霧位穩(wěn)定性。Edge 隨附INFICON 已獲傳感

        器屏蔽,用于保護真空計,使其免受不需要的過程副產(chǎn)品

        的影響。先進的電子元件能為所有應用提供范圍廣泛的可

        配置信號調(diào)節(jié),另外還有EtherCAT 現(xiàn)場總線接口可供選

        擇。創(chuàng)新的加熱概念能夠使接觸表面保持低溫,并節(jié)約寶

        貴的工具空間。INFICON  Edge是同類產(chǎn)品中最小的真空

        測量儀器。

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        優(yōu)勢

        ·緊湊型,節(jié)省寶貴的工具空間

        ·易于集成, EtherCAT,  各種滿刻度和法蘭,標配兩個

        設(shè)定點

        ·輕松一鍵調(diào)零或遠程信號調(diào)零指令,可調(diào)零點偏移

        ·診斷端口用于快速維修和維護

        ·兩年保修服務,先進的加熱概念和真空計保護延長了使

        用壽命

        ·信號穩(wěn)定性和可重復性,即使是最嚴苛的等離子

        應用,都無需長期執(zhí)行重新校準

        ·合規(guī)和標準: CE、EN、UL、SEMI、RoHS

        應用范圍

        ·CVD、 蝕刻、PVD 及其他半導體生產(chǎn)過程

         

        EdgeTM CDG100D2

        訂購資料

         

        image.png 

        1)    優(yōu)化的壓力控制信號濾波器設(shè)置

        2)  不能使用現(xiàn)場總線接口

        粗體=標準產(chǎn)品

        其他法蘭類型可按要求提供。

         


         

        EdgeTM CDG100D2

         


        image.png規(guī)格

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

        1) 在25°℃環(huán)境運行溫度下表現(xiàn)為非線性、滯后、再現(xiàn)性,運行兩小時后無溫度效應

        2) 環(huán)境溫度>40°℃,可能會使表面溫度高于SEMI S2合規(guī)水平—標記“小心燙傷!"

        3) 增加10.…90% FS

        4) 18%Cr、10%Ni、3%Mo、69%Fe

         

         

         


         

        EdgeTM CDG100D2

         

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        EdgeTM CDG100D2

         

        尺寸mm(inch)

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        • 86-411-87187730

          18804209403

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