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        產(chǎn)品目錄Products
        
		
	   
	   
        
	   
	  
        
	  
	  
        
   
        
   
   
    
           
	    
         
		   技術(shù)文章Article
		   首 頁(yè)  > 技術(shù)文章 > 加熱式電容膜片真空計(jì)SKY@CDG160D/CDG200D
		 
        
		 
      
         		 	
		
        
            
        
              加熱式電容膜片真空計(jì)SKY@CDG160D/CDG200D
            
        
            
        
              點(diǎn)擊次數(shù)：167 更新時(shí)間：2024-11-19
            
        
            
        
               
            
        
            
        
              

        加熱式電容膜片真空計(jì)
        SKY@CDG160D/CDG200D
         
         
        INFICON  SKY  CDG160D和CDG200D  高溫壓力計(jì)是實(shí)現(xiàn)
        精確總壓測(cè)量與控制的理想之選。CDG160D  和CDG200D
        真空計(jì)溫度分別控制在160°℃和200℃,具有的性





        能，適用于苛刻的半導(dǎo)體和等離子過(guò)程。在1托至1000托
        滿刻度范圍內(nèi)均可使用，帶有所有常用類型的法蘭和現(xiàn)場(chǎng)
        總線接口，能夠提供0至10伏、不受氣體類型限制的線性
        壓力信號(hào)。INFICON  電容式壓力計(jì)采用超純氧化鋁陶瓷隔
        膜，具有防腐蝕性。陶瓷傳感器具有信號(hào)穩(wěn)定性更佳、從
        大氣恢復(fù)的速度更快、預(yù)熱時(shí)間短和使用壽命長(zhǎng)等諸多優(yōu)
        勢(shì) 。INFICON   CDG壓力傳感器品質(zhì)本效
        益，適用于苛刻的半導(dǎo)體、等離子和真空應(yīng)用。
         
        優(yōu)勢(shì)
        ·擁有成本更低，預(yù)熱速度快50%,節(jié)能，低功耗
        ·易于集成，各種滿刻度、法蘭和接口，標(biāo)配兩個(gè)設(shè)定點(diǎn)
        ·輕松一鍵調(diào)零或遠(yuǎn)程信號(hào)調(diào)零指令，可調(diào)零點(diǎn)偏移
        ·診斷端口用于快速維修和維護(hù)
        ·兩年保修服務(wù)， HT 加熱概念和真空計(jì)保護(hù)延長(zhǎng)了使用壽
        命
        的信號(hào)穩(wěn)定性和可重復(fù)性，即使是最嚴(yán)苛的等離子
        應(yīng)用，都無(wú)需長(zhǎng)期執(zhí)行重新校準(zhǔn)
        ·合規(guī)和標(biāo)準(zhǔn)：CE、EN、UL、SEMI、RoHS
        應(yīng)用范圍
        ·蝕刻、CVD、PVD及其他半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程
        ·化學(xué)和腐蝕性高溫過(guò)程
        ·需要真空計(jì)保護(hù)的一般薄膜和真空過(guò)程
         


         
        SKY@CDG160D/CDG200D
         
        638675996137643790524.png

         
         
        1)   優(yōu)化的壓力控制信號(hào)濾波器設(shè)置
        2)   不能使用現(xiàn)場(chǎng)總線接口
         

         
        粗體=標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品
        其他法蘭類型可按要求提供。
         
         
        638675996132237631146.png
        638675996131924947177.png
         
         
        SKY@CDG160D/CDG200D
         
        規(guī)格(以托為單位的標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品)
         
        測(cè)量范圍
        托
        1000
        100             10
        1
        FS(滿刻度)
        毫巴
        帕
        133,322
        1333
        13,332           1,333
        133            13.3
        133
        1.3
        精度1)
        讀數(shù)%

        0.4

        溫度效應(yīng)




        需點(diǎn)
        %FS/℃

        0.005

        滿量程
        讀 數(shù) % / ℃

        0.02

        最大壓力
        千帕(絕對(duì))
        400
        260             260
        260
        分辨率
        %FS

        0.003

        讀數(shù)
        %FS

        0.01

        建議的讀數(shù)
        %FS

        0.05

        建議的控制
        壓力
         
        %FS

         
        0.5

        溫度




        運(yùn)行(環(huán)境)2
        ℃

        +10 .+50

        在法蘭處烘烤
        ℃

        ≤200

        存儲(chǔ)
        ℃

        -20 .…+65

        電源電壓


        +21 …+30伏(直流)或±15伏(±5%)

        加熱時(shí)功耗




        CDG160D
        W

        ≤18

        CDG200D
        W

        ≤25

        運(yùn)行溫度時(shí)的功耗 CDG160D
        CDG200D
         
         
        W
        W

         
        ≤12
        ≤18

        輸出信號(hào)(模擬)
        伏(直流)

        0.…+10

        響應(yīng)時(shí)間3)
        毫秒

        30

        防護(hù)等級(jí)


        IP 40

        標(biāo)準(zhǔn)
        CE符合性
        ETL認(rèn)證
        SEMI合規(guī)性


         
        EN 61000-6-2、EN 61000-6-3、EN 61010 UL 61010-1、CSA 22.2 No.61010-1
        SEMI S-2

        電氣連接


        D-Sub,15針，公頭

        設(shè)定值


        2個(gè)設(shè)定點(diǎn)(SP1、SP2)

        繼電器觸點(diǎn)
        伏(直流)/安(直

        ≤30/≤0.5

        滯后
        流 )
        %FS

        1

        診斷端口
        協(xié)議
        讀
        設(shè)置
        暴露于真空的材料


         
        RS232-C
        壓力、狀態(tài)、ID
        設(shè)定點(diǎn)、過(guò)濾器、調(diào)零、出廠設(shè)置復(fù)位、直流偏置 氧化鋁陶瓷(Al?O?)、不銹鋼(AISI 316L?)

        1)在25°℃環(huán)境運(yùn)行溫度下表現(xiàn)為非線性、滯后、再現(xiàn)性，運(yùn)行兩小時(shí)后無(wú)溫度效應(yīng)
        2) 環(huán)境溫度>40℃,可能會(huì)使表面溫度高于SEMIS2 合規(guī)水平—標(biāo)記“小心燙傷!"
        3)增加10.…90% FS
        4)18%Cr、10%Ni、3%Mo、69%Fe
         
         
         


         
         
         
         

         
         
        SKY@CDG160D/CDG200D
         
        638675996132237631146.png

         

         
        SKY@CDG160D/CDG200D
         
        DEVICENET規(guī)格
         
        DeviceNetTM
        協(xié)議
        DeviceNetTM,僅第2組從屬
        數(shù)據(jù)率開(kāi)關(guān)                         千波特
        125、250、500或可網(wǎng)絡(luò)編程
        電纜長(zhǎng)度
        125 kbps                           米(英尺)
        250 kbps                           米(英尺)
        500 kbps                           米(英尺)
         
        500(1650)
        250  (825)
        100  (330)
        MAC ID
        兩個(gè)開(kāi)關(guān)(地址00-63)或可網(wǎng)絡(luò)編程
        數(shù)字功能
        讀取壓力，選擇單位：托、毫巴、帕
        脫氣功能，皮拉尼滿刻度調(diào)節(jié)
        監(jiān)測(cè)真空計(jì)狀態(tài)
        安全狀態(tài)允許定義出錯(cuò)時(shí)的行為
        詳細(xì)的警報(bào)和警告信息
        模擬功能
        0 …10伏模擬輸出壓力指示
        兩個(gè)設(shè)定點(diǎn)繼電器A+B
        視覺(jué)通訊指示燈
        LED網(wǎng)絡(luò)狀態(tài)(綠色/紅色)
        LED模塊狀態(tài)(綠色/紅色)
        規(guī)格
        DeviceNetTM“真空計(jì)設(shè)備概況"
        設(shè)備類型
        “CG"表示組合儀表
        /O從屬傳訊
        只輪詢
        設(shè)定點(diǎn)繼電器
        范圍
        繼電器觸點(diǎn)
        滯后
        觸點(diǎn)額定值
         
        毫巴
         
        讀數(shù)%
        伏/安(直流)
        2
        1×10°…100
        常開(kāi)，無(wú)電勢(shì)
        10
        60/0.5
        DeviceNetTM的電源電壓 真空計(jì)的電源電壓
        DeviceNetTM的連接器
        伏/安(直流)
        伏/安(直流)
        +11-+25/0.5
        +20 -+28/0.8
        微型，5針
        D-Sub,15針，公頭
        真空計(jì)的連接器(模擬輸出、電源電壓、
        設(shè)定點(diǎn)
         
         

         
        PROFIBUS
        Profibus

        D規(guī)格
        DP

         
         
        波特率
        千波特
        兆 波 特
        9.6/19.2/93.75/187.5/500
        1.5/12
        地址
        兩 個(gè) 開(kāi) 關(guān) ( 地 址 0 0 - 1 2 7 ) 或 可 網(wǎng) 絡(luò) 編 程
        數(shù)字功能

        讀取壓力，選擇單位：托、毫巴、帕
        脫氣功能，皮拉尼滿刻度調(diào)節(jié)
        監(jiān)測(cè)真空計(jì)狀態(tài)、燈絲狀態(tài)
        安全狀態(tài)允許定義出錯(cuò)時(shí)的行為
        詳 細(xì) 的 警 報(bào) 和 警 告 信 息
        模擬功能

        0…10伏模擬輸出壓力指示
        兩 個(gè) 設(shè) 定 點(diǎn) 繼 電 器 A + B
        設(shè)定點(diǎn)繼電器

        2
        范圍
        毫巴
        1×10?.…100
        繼電器觸點(diǎn)

        常開(kāi)，無(wú)電勢(shì)
        滯后
        讀 數(shù) %
        10
        觸點(diǎn)額定值
        伏/安(直流)
        ≤30/≤0.5
        Profibus  DP的連接器

        D-Sub,9  針，母頭
        BPG 的連接器(模擬輸出、電源電壓、設(shè) 定 點(diǎn) )

        D-Sub,15    針，公頭
         
         
                

         

        SKY@CDG160D/CDG200D
         
         
        638675996130662339941.png

         
        		
            
        
            
        
               
            
        
          
        
          
         
   

          
	  
        
       
   
        
   
   
         
  



        


        
  

        







        

        
	
	
        
		
        聯(lián)系方式
        
		
        
			
          
				
        • 86-411-87187730
          18804209403
          • 
			
        
		
        
		
        
	
        
	
	
	
        
		
        在線客服
        
		
        
			
          
				
          • 
			
        
		
        
		
        
	
        

        






 
  


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